《科创板日报》3月18日讯（记者 黄修眉）大基金二期再出手！

昂坤视觉是大基金二期今年以来第三次“出手”的公司。另外两家则分别为江苏神州半导体科技有限公司、加特兰微电子科技（上海）有限公司。

业内人士表示，“半导体属于一个需要专、精、深的领域，对于创业公司来说，需要从某一个点切入，再实现面的突破。大基金二期投资昂坤视觉，也符合这一规律，从点到面实现国产化的突破。”

系光学检测设备供应商

昂坤视觉官网显示，该公司成立于2017年，主要为化合物半导体光电和集成电路产业提供光学测量和光学检测设备及解决方案。

其产品涵盖了化合物半导体生产工艺测量和检测各个环节，包括各类衬底厚度和形貌测量、各类衬底的表颗粒检测设备、蓝宝石PSSAOI检测及反射率测量集成设备、各类外延片AOI检测设备、芯片外观AOI设备、外延化学气相沉积设备（MOCVD）在线监测系统等。

经过多年的研发和技术积累， 昂坤视觉具备光学系统设计、机器视觉及AI深度学习算法等研发能力，获得了国家级专精特新“小巨人”、北京市企业技术中心、ISO9001质量管理体系认证等资质。

公开资料显示，作为国内少数掌握高精度晶圆检测技术的企业，昂坤视觉的光学测量设备可应用于SiC衬底缺陷检测、GaN外延片均匀性分析等关键环节，其自主研发的AI算法将检测效率提升30%以上。

从工商信息变更来看， 昂坤视觉今年以来业务布局动作频频。

其中，今年1月9日，昂坤视觉获得北京市昌平区经济和信息化局有关厂房方面的许可， 建设5条12寸晶圆量测设备生产线，增加干涉仪、偏心仪等共18台先进的量测设备等。

上述项目建成后年产能65台，其中平整度、面型和翘曲量测设备50台，非图形晶圆表面缺陷检测设备15台。

而后，今年2月4日，昂坤视觉再获相关许可， 建设2条应用于无图形晶圆缺陷光学检测的照明系统研发生产线，增加干涉仪、偏心仪等共18台先进的开发验证设备等，项目建成后年产能30台。

昂坤视觉今年内进行的招投标项目亦不少，包括有无图形的晶圆平坦度翘曲IPD量测及表面缺陷检测光学系统研发及产业化项目、先进工艺缺陷检测光学系统研发及产业化项目等。

多家产业链上市公司参投

股权结构方面，昂坤视觉法人代表、实控人、CEO均为清华系技术领军人物马铁中博士，马铁中也是EDA企业广立微的创始人。

SEMICON China官网显示，马铁中本科毕业于清华大学，在美国明尼苏达大学获得博士学位。马铁中2007年回国后，在杭州创立广立微。2017年，马铁中二次创业成立昂坤视觉。

（图：马铁中；图源：SEMI中国公众号）

此前，2021年12月，昂坤视觉C轮融资领投方钱塘产业集团旗下和达金服集团公众号曾发文提及，昂坤视觉核心技术团队自2013年起着手研发MOCVD配套温控设备，已占据国内MOCVD温控设备领域90%市场份额。

值得一提的是，其MOVCD温控设备产品是中微公司MOCVD设备整机的核心子系统之一。

与此同时，昂坤视觉LED AOI设备已占据国内增量市场，化合物半导体、集成电路AOI设备已进入三安集成、士兰微等下游龙头企业。

《科创板日报》记者注意到，在大基金二期投资前，昂坤视觉已有包括中微公司、汇川技术、晶盛机电等知名产业方参股。

其中，中微公司于2020年参投昂坤视觉A轮融资；汇川技术旗下汇川产投于2021年2月至2023年1月间参与了昂坤视觉B轮至D轮总共三轮融资；晶盛机电则参与其D轮融资。

此外，昂坤视觉的投资方还包括：招商致远、海望资本、冯源资本、清石资管、厚雪资本等；铜陵有色、昌平中小企业成长投资基金、安徽交控招商、金浦投资、宝鼎投资、钱塘产业集团等参投方均为国有控股。

（图：昂坤视觉前十大股东）

“推动国产设备形成生态闭环”

“大基金二期投资昂坤视觉，标志着其在化合物半导体量检测设备领域的重要落子，其也将进一步整合上下游资源，推动国产设备形成生态闭环。”创道硬科技创始人步日欣在接受《科创板日报》记者采访时表示。

步日欣表示，“半导体量检测设备领域的国产化，总体来看属于创业公司‘遍地开花’，但高端设备领域实现重大业务突破的企业寥寥无几。目前， 量检测设备领域的整体国产化率约5%，远低于半导体设备整体的国产化率。”

“量检测设备种类繁多，国内厂商像中科飞测、精测电子、睿励仪器等头部企业， 在膜厚测量、关键尺寸测量、形貌测量等领域实现了高工艺制程的量产突破，但大部分擅长于其中部分设备，并没有实现全线设备的突破。”步日欣称。

步日欣进一步表示，从全球格局来看，国际巨头LKA产品线贯穿半导体前道工艺过程控制全流程，目前全球量检测设备领域各细分环节市场仍被LKA垄断。

2020年，LKA在晶圆形貌测量、无图案检测、有图案检测、光罩/掩膜版检测、套刻误差测量等细分环节的全球市占率均超过50%。其中，晶圆形貌测量的全球市占率高达85%。

华芯资本相关人士亦表示，半导体量检测设备是半导体制造环节的“守门员”。在AI技术驱动下，光学检测设备需向智能化升级。“昂坤视觉通过AI算法优化检测流程，这种技术融合能力正是大基金看重的未来增长点。”

观研天下发布的《中国半导体检测行业现状深度研究与发展前景分析报告（2024-2031年）》数据显示，得益于半导体快速发展及国产化趋势带来的发展机遇，近年我国半导体量检测市场不断发展。

以半导体检测设备为例，2016年我国半导体检测设备市场规模约为76.1亿元，到2022年这一规模增长到了385.6亿元。预计在2023-2027年，我国半导体检测设备市场将以15.4%的整体年复合增长率发展，于2027年达673.2亿元的市场规模。

（科创板日报记者 黄修眉）