众所周知,目前美国一直在打压中国的芯片产业,从逻辑芯片到NAND、DRAM存储芯片,再到AI芯片等等。
美国限制先进的AI芯片,先进的半导体设备,以及一些先进的软件、技术等进入中国市场。在美国看来,只要堵住这些设备、技术、软件,中国就不可能用手搓出芯片来。
而其中,最最关键的设备,就是EUV光刻机。
因为目前所有芯片的大规模生产技术,就是光刻工艺,光刻机必不可少。且基于当前的技术工艺流程,制造7nm以下的芯片,就必须用到EUV光刻机。
而全球只有ASML一家企业,能够制造EUV光刻机,所以美国一直不允许ASML将EUV光刻机卖给中国。
甚至不准EUV光刻机,以任何形式进入中国,哪怕是其它国家的芯片厂,在中国设立的芯片制造工厂,也不允许进口EUV光刻机,真正的严防死守。
说实话,在当前的技术条件之下,美国堵EUV光刻机,确实是最好的办法,因为只要卡住EUV,进入7nm以下就别想了,没有其它任何捷径可走,也不存在弯道超车。
但是,在这样极端的情况之下,也让我们看到一个希望,那就是只要我们研发出EUV光刻机,芯片禁令成废纸,芯片战争彻底结束。
因为一旦我们拥有了EUV光刻机,那么就可以进入7nm以下了,比如5nm、3nm等,虽然还是需要其它设备的配合,但其它设备的通用性更强一点,可替代性也更强,只有EUV光刻机无可替代。
所以只要拥有EUV光刻机,禁令就没有意义了,不依赖进口这些先进设备,我们就能够生产出7nm以下的芯片,芯片战争就会结束。
那么我们离EUV光刻机还有多远?
表面上来看,还有两步,因为我们已经拥有了DUV光刻机,进一步就是浸润式DUV光刻机,再进一步就是EUV光刻机。
但在这两步背后,可能是无数步,因为EUV确实复杂,牵涉到的供应链、元件、技术非常多多且杂,但按照ASML的估计,如果美国一直卡住,也许中国几年之内就可以研发出来。
近日,在“2024黑龙江省高校和科研院所职工科技创新成果转化大赛决赛”上,哈工大的研发团队的“放电等离子体极紫外(EUV)光刻光源”项目获得大赛一等奖,说明我们在EUV光源上,其实已经有很深的积累了。