文｜胡依婷

编辑｜袁斯来

硬氪获悉，近日深圳市罗博威视科技有限公司（以下简称“罗博威视”）成功完成近亿元A轮融资，投资方包括合肥建投和合肥创新投等。此次融资将主要用于华东生产基地的建设以及武汉罗博半导体高端量检测装备的国产替代市场化推广。

罗博威视成立于2014年，专注于视觉检测和量测设备的研发与销售，业务涵盖消费电子、半导体、显示面板、军工和新能源汽车等多个领域。公司已成功实现多种尺寸的视觉检测装备与整线解决方案的产业化，长期合作伙伴包括华星光电、OPPO、vivo、信维、领益、东尼、立讯精密、京东方、天马和小天才等国内知名企业，并已进入华为、比亚迪、苹果、谷歌和meta等全球知名品牌的供应链体系。

自2020年起，罗博威视开始投入半导体高精密光学量检测关键技术及装备研发，并于2023年成立了武汉罗博半导体科技有限公司。根据VLSI的数据，2023年全球半导体检测和量测设备市场规模达到128.3亿美元，同比增长19%，市场潜力巨大。

目前，全球半导体量检测设备市场主要被海外巨头垄断，科磊、日立、阿斯麦和Camtek等厂商占据了超过80%的市场份额。国内上市企业如中科飞测、睿励科学和赛腾股份等已设立相关产线，正处于国产化替代的关键时期。

在此背景下，罗博威视子公司武汉罗博半导体于2023年正式推出全自动Wafer光学量检测装备，目前已有6款产品上市。上述设备能够针对先进封装封测段切割前、切割后晶圆进行2D和3D一体的光学量检测，能够有效识别线路污染、保护层划伤、残胶、气泡等对芯片性能造成影响的缺陷。同时，设备还可对晶圆的结构尺寸和结构特性进行量化描述，如RDL线宽、线间距、关键尺寸等物理参数。

全自动Wafer光学量检测装备，图源企业

与国际竞争对手Camtek的同类产品相比，罗博半导体的高精度光学量检测设备在功能完备性、检测精度、检测速度、机台稳定性、AI性能等多方面，都具有较强的竞争力。目前，公司已累计测试超过十万片晶圆，缺陷检测精度可达到0.7μm，缺陷检出率高达99.5%以上，过检率控制在0.5%。

罗博威视投融资总监石邦进表示，相较于Camtek，罗博威视能够为国内客户提供更具本土化的服务和更及时的响应，满足其定制化需求。罗博半导体晶圆2D+3D量检测装备已于2024年完成小批量交付验收，预计明年可实现突破性增长，单一产品预估产值过亿。