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创客君获悉，无锡星微科技有限公司（以下简称“星微科技”）近日宣布完成数千万元B轮融资，投资方包括尚颀资本、毅达资本。

该轮资金将主要用于研发迭代、团队完善与市场拓展，推动国内半导体设备关键零部件的技术创新。

此前，星微科技曾获得包括耀途资本、中汇金、北洋海棠基金、建发新兴投资等知名机构的投资。值得一提的是，毅达资本几乎参与了星微科技至今的每一轮投资。

星微科技融资历程

星微科技成立于2015年3月，公司位于无锡市新吴区，专注于半导体行业领先的精密运动控制解决方案的研发。基于团队核心的微米与纳米级精密运动控制技术，结合精密制造能力及卓越的生产管理，致力于成为“晶圆超精密定位、传输、存储一体化解决方案制造商”。

“半导体设备由成千上万的零部件组成，这些零部件的性能、精度，直接影响着设备的可靠性和稳定性，也是我国在半导体制造能力上升级迭代的关键要素。”星微科技董事长陆敏杰介绍，星微科技从一开始就选择超精密运动平台和晶圆传输设备两大核心产品，助力被“卡脖子”的半导体设备的国产化。

最开始，陆敏杰在上海工作，从事的也是精密运动控制系统领域。2015年，陆敏杰回到了自己的家乡无锡，开始了创业之旅。

然而，公司的发展并不是一帆风顺。2015年至2018年，国内半导体行业处于低谷期，相应地，对半导体核心零部件的需求也较少。当时，公司订单基本来源于科研院所。

随着中美贸易竞争的加剧和技术脱钩，半导体自主化变得尤为重要，星微科技的产品也因此受到关注。

“公司在创业初期，作为该领域的新入行者，会面临产品在市场上的认可度问题。” 陆敏杰表示，有些客户习惯于国外产品，因此需要先为客户定制测试样机的方式来获取市场机会。当前，星微科技已经有了稳定的客户群，订单排产、生产及交付也都在推进中，经营效益实现了较快增长。

晶圆传输系统

高精度运动平台和晶圆传输设备是半导体设备两大关键零部件，也是星微科技目前两大主营产品。作为业内少数能够同时提供两类产品的公司之一，星微科技同时也是极少数能够实现底层核心零部件自研的厂商。

星微科技能够提供模块化和定制化的产品及服务，灵活适应不同客户场景的个性化需求，同时确保高效和稳定的系统性能。

对于高精度运动平台，海外厂家大多采取直销或者代理商的模式，价格贵、交付周期长、大多不支持定制化。星微科技的高精度运动台性价比更高，支持定制化，交货周期更短。

其通过自主研发的超精密气浮运动平台，在精度指标和制造工艺质量等方面与国外产品并无二致，具有突破国外垄断的重要意义。

对于晶圆自动化传输设备，星微科技的产品已经实现了关键核心部件的自主化，随着国内半导体设备零部件国产替代加速，量产后相对海外品牌，价格、交期、服务等优势将会凸显。

晶圆真空搬运机械手

在两大主打产品之外，星微科技不断推陈出新，日前发布了最新产品——真空机械手。

作为晶圆的真空传输系统中的基板搬运机器人，星微科技真空机械手的全连杆手臂机构采用全闭环控制方式，可实现更高的定位精度、更快的响应时间、更高的工作效率。

展望未来，星微科技将继续加大在技术研发上的投入，推动半导体精密运动控制产品的创新升级，为半导体市场提供更多创新工业产品。

本文素材

企查查、IT桔子、星微科技官网

《毅达资本持续加码星微科技，助力半导体设备零部件国产化》

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